***、情況簡介 :
CX-200系列掃描電鏡是在CX-100***核心技術基礎上,創新調整了產品構架,性能進***步提高,2010年圓滿實現預定研發目標,達到當前同類產品的頂***水平,2011年初正式向市場推廣。作為COXEM公司***新主力型產品,共分為4個標準化子型號。
CX-200TA型全自動掃描電鏡:渦輪分子泵+自動臺
CX-200DA型全自動掃描電鏡:油擴散泵+自動臺
CX-200TM型半自動掃描電鏡:渦輪分子泵+手動臺
CX-200DM型半自動掃描電鏡:油擴散泵+手動臺
具有世界***流水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡,適合多種需求類型的客戶選購。
在選購時,您需要考慮的問題:
實驗室掃描電鏡,在基本性能滿足需要情況,科學定義其優劣的標準應該上升到掃描電鏡的工作效率問題,這個問題往往被忽視,***般只提性能如何優越,然而優越的性能是高效的基礎。
對掃描電鏡工作效率分析如下
1、搜索樣品感興趣點的速度,樣品臺自動化程度越高,效率越高。計算機導航坐標定位馬達驅動系統要優于單純的馬達驅動,馬達驅動要優于手動。
2、高質量圖像獲得的效率:電子光學系統的自動化,或者更高的性能來提高效率。如熱場發射掃描電鏡看2萬倍,可以在2TV掃描速度下,清晰成像,而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬倍圖像,要清晰成像,光保存***幀圖像需要20秒以上,還不要說調整電子光學參數的功夫,如果不明就里,拿過來兩個圖像來比較,可能很難分出伯仲,因此有的人會說,在2萬倍水平上,鎢燈絲掃描電鏡和場發射掃描電鏡區別不大,這個前提就是忽略客戶的效率需求,比如工廠做晶圓上的芯片檢測,這里邊就有了效率需要,雖然***般檢測可能只看2萬倍,但對效率提出很苛刻的要求,鎢燈絲根本不能勝任。
3、系統真空獲得的效率:渦輪分子泵相對擴散泵具有明顯優勢。
3.1、眾所周知,渦輪分子泵可隨時開關機,油擴散泵開關機受到泵油升溫和冷卻的限制(開關機***個來回至少要等50分鐘),因此要么就開***天,要么***開就至少半天,半天如果只需要做***個小樣,照***張照片,那效率就更低了;除非擴散泵長期不關機,例如2-3個月,真空泵總保持啟動,那么效率還是很高的,這需要特殊照顧。
3.2、真空潔凈度對效率影響:渦輪分子泵真空潔凈度遠遠優于油擴散泵。泵油蒸汽分子,在電子束作用下分解為碳氫化物,污染樣品和末***光闌。電子束掃描樣品時,會被電子束誘導沉積到正在觀察的樣品區域表面,越高倍,沉積速度越快,污染降低se產額,從而降低成像分辨率;末***光闌在電子束作用下,***容易沉積污染物,污染的隨機變化,在高倍引起的象散需要隨時進行校正。往往高倍需要逐***消象散,在***個區域調節電鏡參數到***佳,然后迅速電位移到就近區域掃描存儲圖像,這降低操作效率
3.3、也同樣是污染的原因,擴散泵真空系統掃描電鏡需要的維護周期要短得多,***般建議3個月維護***次,而同樣工作條件,渦輪分子泵真空系統的***般建議是1年維護***次。
綜上所述:在***次操作周期內對效率影響***大的因素,自動化程度越高,效率越高。應該是樣品臺的自動化程度和真空潔凈程度;電子光學性能需要定位,5000倍以下,不明顯,5000倍以上就顯示高分辨和自動化的優勢。
通過以上簡單分析,對CX-200系列型號作如下推薦,原則是不至于讓您感到特別疲倦,讓您專注于材料的特征觀察分析。
1、如果您有大量的樣品要做,但要求管理維護簡單方便,應該選擇***高效率的CX-200TA型,
2、如果您有大量的樣品要做,同時可以接受較短的維護周期,可以選擇CX-200DA型
3、如果您的樣品量不算大,但隨時想看,又不希望花過大精力照顧掃描電鏡,請選擇 CX-200TM型
4、如果您的樣品量不算大,可以安排專門操作人員“照顧”掃描電鏡,可以選擇更加經濟的CX-200DM型
二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點:
2.1、可實現功能:標配SE形貌像,可選配 BSE探測器成像,WDS, EDS微區元素分析,+CCD樣品室監控
2.2、基本性能特點
(1)、分辨率( 3.0nm@ 30kv ,10nm@ 3kv),錐形物鏡,長焦性能優越。
(2)、中型樣品室內部尺寸直徑為210mm,可同時接配多種探測器;
五軸精密機械對中樣品臺,自動或者手動控制。自動臺計算機導航控制,步進電機驅動精度19nm/步,Point & Go操作,具有坐標定位系統,點擊臨時存儲的圖像,樣品上的該位置能夠自動返回掃描視野中心;樣品上的z軸調節范圍5-65mm,實現對大型樣品,和很大高度梯度樣品的靈活操縱,使用自動臺,用戶可以實現對樣品更快速的評估和測量。
(3)、真空系統為渦輪分子泵真空系統,高效清潔節能; 或者更具經濟性的擴散泵真空系統。
(4)、全數字化電器控制系統,與主機集成為***體,結構緊湊,穩定可靠,與計算機通訊采用USB/PCI接口。整機可輕松在很大范圍內移動。
(5)、數字化掃描系統,實現從實時基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式,這相對CX-100有了顯著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供***好的視覺質量。
(6)、自動控制:自動電子槍***大亮度,自動聚焦,自動消象散,自動亮度對比度控制,自動電子束對中,自動電子槍加飽和,自動偏壓,物鏡光闌自動搖擺對中合軸,增加了傾斜補償和自動聚焦功能。具有這些功能,用戶將能夠更輕松操作儀器。
(7)、GUI操作軟件:多種快捷按鈕,操作簡單方便,同時允許用戶自定義熱鍵,允許更高效的操作;圖像灰度直方圖實時顯示,可以幫助用戶保持***佳的圖像質量;雙圖像顯示,允許用戶輕松比較不同圖像的差別;產品能夠使用MS-Office軟件生成報告,允許用戶創建數據。
三、競爭優勢
CX-200系列掃描電鏡具有和諸如日立、JEOL、卡爾.蔡司、TESCAN同等***別的產品幾乎完全相同的品質,然而,我們公司正在銷售的這些型號更加經濟,更加友好 。
通過韓***領導納米發展的大學、研究機構和工業企業的使用,已經證明CX-100S產品具有優良的性價比,而CX-200系列產品相對更加出色,更受客戶歡迎,2011年初已經銷售10臺。
特別在售后服務方面,我們公司不僅有工程師,而且還有韓***科學技術院水平的研究人員參與為客戶服務。我們公司將重點放在這些研究人員的直接貢獻上,快速適應客戶需要,改變社會,保持產品經濟更好。我們公司也接受批評、建議或者意見,從而使我們產品的質量像消費者所希望的那樣更好。COXEM北京辦公室,配置專******的掃描電鏡應用工程師和具有30年掃描電鏡制造維修經驗的高***工程師,這***點相比再強大的競爭對手都毫不遜色,而且我們更加專業。
我們公司竭盡全力制造和發展客戶您所需要的掃描電鏡產品。我們真誠希望,如果您有樣品或者問題,您會和我們聯系,因為我們無論如何都愿意盡可能幫助您。