INFICON潘寧規
產品型號:PEG100
INFICON PEG100真空潘寧規提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰極板和高電壓降低,潘寧規也可以應用在陰極濺射鍍膜工藝上。
特點:
測量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
新型幾何電極提供了極好的點火性能
降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險,即使在氬濺射過程中也***樣
陽極環和鈦陰極可清洗,更換容易
***小磁場強度測量
LED指示燈電源和等離子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信