INFICON皮拉尼復合真空計
產品型號:BPG400
INFICON生產的Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計, BPG402-S,兩種真空計集成在***個小型的單元內,測量范圍從5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓). 復合的技術降低了安裝,設置和集成的復雜性.在***個小
特點:
極寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)
極好的重復性,過程壓強范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲
可選圖形顯示和現場總線接口
自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預
容易更換具有在機校準的傳感元件,保證高度重復性
應用:
半導體工藝和輸送室中的壓強測量
工業鍍膜
***般真空測量和控制,從低至超高真空范圍