型號 1400N-50 1402N-50 1376N-49
氣體流量L/min 25 160 300
極限真空,Torr (mbar) 1×10-4 (0.00013) 1×10-4 (0.00013) 1×10-4(0.00013)
油箱(L) 0.59 2.1 2.37
功率 /W 250 370 750
轉速 (RPM) 580 525 525
氣鎮閥 Yes Yes Yes
所需管材,I.D.英寸(mm) 7/16 (11) 13/16 (21) 13/16 (21)
國際標準排氣和進氣法蘭 NW 16 NW 25 NW 25
重量 /kg 26 51 71
尺寸 L x W x H (cm) 45.2 x22.9 x 32 49x35.5 x 39.1 49x35.5 x 39.1
運輸重量 /Kg 32.3 60.5 82.3
運輸尺寸L×W×H/cm 52.1x35.1x36.8 57.2x39.4x49.5 59.5x45x48