Edwards EXT556H復(fù)合渦輪分子泵
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2020-09-17 14:09
品 牌:Edwards型 號(hào):Edwards EXT556H
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2429
上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
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性能特點(diǎn)
高臨界前***壓力。
高體積流速。
* 抽速快。
多***Holweck分子拖曳結(jié)構(gòu),對(duì)輕氣體產(chǎn)生高壓縮比。
極限真空<10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
復(fù)合軸承。
免維護(hù)。
機(jī)加工整體轉(zhuǎn)子。
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
產(chǎn)品參數(shù)
主入口法蘭 DN160ISO-K | |||
出口法蘭 | DN25NW | ||
放氣口 | 1/8 inch BSP | ||
吹掃凈化口 | 1/8 inch BSP | ||
入口泵速* | |||
| N2 | ||
| He | ||
| H2 | ||
| Ar | ||
壓縮比 | |||
| N2 | >10E10 | |
| He | 10E8 | |
| H2 | 10E6 | |
| Ar | >10E10 | |
前級(jí)泵(推薦) | RV12 | ||
最高入口壓力( N2, He, H2 )** | |||
| 水冷(水溫 | 2 x 10E-3 mbar | |
| 空冷(大氣溫度 | 1 x 10E-3 mbar | |
| 空冷(大氣溫度 | 5 x 10E-4 mbar | |
額定轉(zhuǎn)速 | 50000 rpm | ||
轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時(shí)間 ** | | ||
| EXC250 | 5 min | |
| EXC300 | 6.5 min | |
| EXDC160 | 8 min | |
冷卻方式 | 空冷/水冷 | ||
大氣溫度(空冷) | 0 | ||
推薦冷卻水流速(水溫 | |||
水溫范圍 | 10 | ||
入口法蘭最高溫度 | |||
工作姿態(tài) | 垂直 |
產(chǎn)品介紹
Edwards EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵
性能特點(diǎn)
高臨界前***壓力。
高體積流速。
* 抽速快。
多***Holweck分子拖曳結(jié)構(gòu),對(duì)輕氣體產(chǎn)生高壓縮比。
極限真空<10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
復(fù)合軸承。
免維護(hù)。
機(jī)加工整體轉(zhuǎn)子。
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)。