Edwards EXT系列復合渦輪分子泵
BOC Edwards EXT泵適用于除***苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列***般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為***,使用起來更加方便。OEM或有電源的***終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統中控制EXT渦輪,這可以降低成本。另外還具有如下優點:無油(渦輪分子泵不產生碳氫化合物污染);低維護(無軸承接觸,無機械磨損);低振動(比***般軸承的振動低***個數量***);減少冷卻(對許多應用來說自然冷卻即可);定位任意(可以安裝在任意位置)。