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日立 FT9500系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀

儀器簡介：

X射線發生系統為X射線聚焦光學系統（聚焦導管）與X射線源相結合，并且可以照射出實際照射直徑為0.1mmΦ以下高強度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強度不足而無法得到理想精度的導線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進行測量。同時搭載高計數率、高分辨率的半導體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中***版RoHS等法規所管制的有害物質進行分析測量。

技術參數：

1. 薄膜及多層膜測量

通過采用新型的毛細管（X射線聚光系統）和X射線源，把與以往機型FT9500同等強度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等***的微小范圍。
同時，也可對幾十納米等***的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進行高精度測量。

2. 異物分析

通過高能量微小光束和高計數率檢測器的組合，可進行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進行異物的定性分析（Al～U）。

3. 數據編輯功能

配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統計處理軟件，可以進行測量數據、平均值、***大/***小值、C.V.值、Cpk等的統計處理。 另外，通過Microsoft Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。

4. 高強度照射

通過高強度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。

5. 樣品工作臺

配備等同與FT9550X的大型樣品臺，能夠對大型線路板等樣品進行整體排列測量對應。