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光學(xué)NanoGauge C12562-04 

詳細(xì)參數(shù)

*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5 

*2 測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 

*4 測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件***致 

*5 ***短曝光時(shí)間

產(chǎn)品特性

● 測(cè)量范圍從薄膜厚度到總厚度 

● 縮短循環(huán)時(shí)間（***大100 Hz） 

● 外部觸發(fā)器增強(qiáng)（適用于高速測(cè)量） 

● 系統(tǒng)中新增簡(jiǎn)化測(cè)量法

● 可進(jìn)行表面分析 

● 非恒定膜層的精確測(cè)量 

● 分析光學(xué)常數(shù)（n, k） 

● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）

• 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 
  

  C12562型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是***款小型緊湊、節(jié)省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測(cè)量系統(tǒng)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅通孔技術(shù)的普及使得硅厚度測(cè)量變得必不可少；在薄膜生產(chǎn)工業(yè)中，越來(lái)越高的產(chǎn)品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來(lái)越薄的方向發(fā)展。因此，這些工業(yè)領(lǐng)域需要更高精度、測(cè)量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測(cè)量系統(tǒng)。C12562可以對(duì)厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進(jìn)行精確測(cè)量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進(jìn)行高達(dá)100 Hz的快速測(cè)量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測(cè)量。