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Q150T新型觸摸屏高真空一體化濺射鍍膜儀

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:英國(guó)更新時(shí)間:2021-02-26 15:36

品  牌:Quorum型  號(hào):Q150T

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1015

400-006-7520
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聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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Q150T新型觸摸屏高真空***體化濺射鍍膜儀

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn): 
● 金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌?**體化設(shè)計(jì),節(jié)約空間
● 精細(xì)顆粒濺射:高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)制樣的精細(xì)鍍膜應(yīng)用
● 渦輪分子泵高真空系統(tǒng):允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜,大大拓寬了可濺射靶材范圍,既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應(yīng)用,也為許多薄膜應(yīng)用等材料科研領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺(tái)
● 全自動(dòng)觸摸屏控制:快速數(shù)據(jù)輸入,簡(jiǎn)單操作
● 可儲(chǔ)存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案:對(duì)多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想
● 與鍍膜過(guò)程和鍍膜材料相匹配的預(yù)編程自動(dòng)真空控制
● 精細(xì)的厚度控制:使用膜厚監(jiān)控選項(xiàng)
● “智能”式系統(tǒng)識(shí)別:自動(dòng)感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類(lèi)型
● 高真空碳蒸鍍:對(duì)SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想
● 蒸發(fā)電流波形控制
● Drop-in落入式快換樣品臺(tái)(標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái))
● 真空閉鎖功能:可讓工作腔室處于真空狀態(tài),改善后續(xù)真空效果,或在真空條件下保存樣品
● 鍍制厚膜能力:***次真空條件下的濺射時(shí)間可長(zhǎng)達(dá)60分鐘(材料科研領(lǐng)域的應(yīng)用)
● 人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的整體成型機(jī)殼:易維護(hù)和易拆裝
● 帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口:簡(jiǎn)單的程序更新
● 設(shè)有功率因素補(bǔ)償,有效利用電能,降低運(yùn)行成本
● 符合當(dāng)前電器法規(guī)(CE認(rèn)證)


產(chǎn)品參數(shù)

Q150T新型觸摸屏高真空一體化濺射鍍膜儀

主要技術(shù)指標(biāo):
● 工作腔室:150mm內(nèi)徑 x 127mm高
● 觸摸屏全圖像用戶界面
● 樣品臺(tái):標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)
● 真空系統(tǒng):
    渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵
    旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵:雙級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵
● 濺射電流:0-150mA;可預(yù)設(shè)膜厚(需FTM選項(xiàng))或使用內(nèi)置定時(shí)器
● 濺射時(shí)間:最長(zhǎng)60分鐘
● 碳蒸發(fā):穩(wěn)定的無(wú)紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保源自碳棒或碳絲的可重復(fù)蒸碳。
● 金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭:用于源自鎢絲籃或舟的金屬熱蒸發(fā)。
● 尺寸和重量:儀器機(jī)箱:585mm寬x 470mm長(zhǎng) x 410mm高 (總高: 650mm)
● 儀器總重量:33.4Kg


產(chǎn)品介紹

Q150T新型觸摸屏高真空***體化濺射鍍膜儀

Q150T系列:渦輪泵高真空鍍膜儀,可進(jìn)行高性能精細(xì)顆粒鍍膜,適合場(chǎng)發(fā)射電鏡制樣應(yīng)用以及制作無(wú)定形碳覆形膜及TEM柵網(wǎng)支持膜。基于內(nèi)部安裝的渦輪分子泵抽真空平臺(tái),Q150T具有三種版本/型號(hào)的鍍膜儀:濺射、蒸發(fā)鍍碳和濺射/蒸鍍。在運(yùn)用***新科技整體成型的機(jī)箱上,設(shè)有彩色觸摸屏,可允許多用戶輸入和貯存鍍膜方案。在同***個(gè)易使用系統(tǒng)中,根據(jù)所選擇的配置,Q150T可以是***臺(tái)***具水準(zhǔn)的離子濺射鍍膜儀用于高分辨掃描電鏡(SEM)制樣,也可以是***臺(tái)適合SEM或透射電鏡(TEM)應(yīng)用的蒸發(fā)鍍碳儀,或者是***臺(tái)兼具濺射和蒸鍍兩功能的***體化鍍膜儀。Q150T具有快速濺射易氧化和不氧化金屬靶材的寬可選范圍的能力,使其也成為許多金屬薄膜研究及電極的應(yīng)用等材料科學(xué)領(lǐng)域的***個(gè)理想鍍膜平臺(tái)。
 
高真空性能
Q150T裝在***個(gè)堅(jiān)固的特制整體成型機(jī)殼中,它容納了所有工作部件,包括空氣冷卻的渦輪分子泵。自動(dòng)進(jìn)氣控制保證了濺射期間***佳的真空條件。真空腔室?guī)в蟹辣踩帧150T含有的“真空閉鎖”允許在不用設(shè)備時(shí)維持腔室真空,從而改善真空性能。

Q150T系列三種型號(hào)
Q150TS:高分辨率磁控離子濺射鍍膜儀,可濺射易氧化及不氧化金屬(貴金屬)。可選各種濺射靶材,包括常用于場(chǎng)發(fā)射電鏡的銥和鉻。
Q150TE:高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀,可制作高穩(wěn)定性的碳膜和表面覆形膜,對(duì)透射電鏡(TEM)的應(yīng)用非常理想。
Q150TES:集合了濺射和蒸鍍兩種沉積鍍膜功能的鍍膜系統(tǒng),沉積鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)快速更換,智能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別出所裝的鍍膜頭類(lèi)型,并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。
上述每個(gè)型號(hào)還可選配***系列可選附件,如:金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測(cè)量等。

觸摸屏控制
Q150T的操作核心為簡(jiǎn)單的觸摸屏,即使***不熟練的或偶而使用的操作者,儀器也能使其快速鍵入和貯存自己的處理數(shù)據(jù)。程序中已貯存了各種典型濺射及蒸發(fā)鍍膜的參數(shù)資料,以便提供進(jìn)***步的易操作幫助。

鍍膜頭選項(xiàng)
具有***系列可互換、即插即用的鍍膜頭:
濺射頭,可使用易氧化及非氧化金屬兩大類(lèi)寬范圍靶材;并可用另外的濺射頭來(lái)快速更換鍍膜材料(僅為T(mén)S及TES版本)
碳棒蒸發(fā)頭
碳絲蒸發(fā)頭
金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭,包括向上蒸發(fā)或向下蒸發(fā)兩種蒸發(fā)方式(僅為T(mén)E和TES版本)

樣品臺(tái)選項(xiàng)
Q150T具有各種樣品臺(tái)以滿足大部分的應(yīng)用。所有的樣品臺(tái)更換容易,drop-in式樣(無(wú)需螺釘)并且高度可調(diào)(除旋轉(zhuǎn)行星臺(tái))。標(biāo)準(zhǔn)配置為旋轉(zhuǎn)臺(tái),可選:
可預(yù)設(shè)傾斜角度的旋轉(zhuǎn)臺(tái)
可變角度旋轉(zhuǎn)行星臺(tái)
用于4”晶圓的平面旋轉(zhuǎn)臺(tái)
用于顯微鏡載玻片的樣品臺(tái)

其它選項(xiàng)
用于高樣品的加高腔室
膜厚監(jiān)測(cè)附件(FTM)
用于測(cè)量低和高真空的全范圍真空計(jì)





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