美***Fischione 1010離子減薄儀(ION MILL)
主要特點(diǎn) 1. 整臺儀器設(shè)計緊湊,程序化自動控制減薄過程,并可分別設(shè)定每***步的參數(shù).
2. 提供10個用戶自編減薄程序,針對同樣的樣品可調(diào)用特定的程序.
3. 離子源自清洗功能,省略了定期清洗離子源的工作.
4. 離子源無聚焦磁場,金屬樣品微粒不會吸附在離子源處.
5. 大樣品臺和懸空工作的設(shè)計,再加上超大空間樣品室,使得樣品散熱效果明顯.
6. 樣品采用彈簧固定,避免用粘粘方法造成的樣品污染問題.
7. 兩個獨(dú)立的離子源,其電壓(0.5~6Kev),電流(3~10mA)可調(diào).
8. 減薄入射角0o ~ 45o ,樣品臺旋轉(zhuǎn)0o ~ 360o ,在做界面樣品時可選擇0o ~ 120o 旋轉(zhuǎn).
9. 制備具有大面積電子穿透區(qū)的樣品,
10. 采用無油分子泵可保持樣品不受污染,抽真空的時間小于4分鐘.
11. 通過筆記本電腦控制減薄的過程