材料3D實時動態顯微鏡

lyncee+材料3D實時動態顯微鏡+DHM? R2100  

LynceeTec數字全息顯微鏡DHM 

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time. 

儀器簡介 

瑞士Lyncee tec公司的材料3D實時動態顯微鏡DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要應用是在MEMS研發中用于測量工作，以及在生產線用于缺陷檢測。與上述用途中現在經常使用的共焦顯微鏡相比，在同行分辨率下能夠更高速地進行測量。垂直方向的分辨率為0.6nm，水平方向為200nm～300nm（取決于物鏡）。使用1.25倍率的物鏡時視野為4mm×4mm，可以15幀/秒的速度進行測量。因此，25px見方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現有共焦顯微鏡時，同等范圍的觀察則需要幾個小時～10小時。此外產品可將觀察速度擴展至1萬幀/秒。由于攝影速度快，因此不需減震臺，可用來檢測流水線上的產品。 

照射到試料上的光線與參照光產生的干涉圖案使用CCD相機，作為數字數據保存下來，由此算出三維數據。計算三維數據時使用的是專用軟件“Koala Software”。 

主要特點:           

            ?非接觸式3D成像 

            ?可進行相位測量

            ?自動相干補償

            ?高分辨、實時測量 

技術規格   

系統

?測量技術：         單波長透射式數字全息顯微鏡

?成像類型：         強度及定量相差 (DHM模式)

?光 源：             單波長激光

?樣品臺：           手動或自動XYZ平臺, 行程200mm××100mm×15mm

?相 機：            1392×1040像素, 8bits

?有效物鏡：       標準顯微物鏡, 長工作距離物鏡, 油鏡或水鏡 

性能

?縱向分辨率：     10nm

?垂直測量范圍：  可達340nm (取決于樣品)

?橫向分辨率：     300nm (1.4NA)

?視場范圍：        4.4mm

?工作距離：        0.3~18mm

?數字聚焦范圍：  達到50倍場深

?抓圖時間：         小于1us

?空間采樣：         1024×1024像素

?采樣速率：         15fps (1024×1024像素)

?單波長重建速率：15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)

?樣品照明：         小于1uW/cm2

?樣品尺寸：   200mm×200mm 

電源要求

?輸入電壓：        85-260VAC, 50/60Hz

?功率：              480W 

重量&尺寸

?顯微鏡部分：     500×500×500mm&34.5kg