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研究。計算機的發展和應用使橢偏數據的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領域得到應用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀現在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。*初，橢偏儀的工作波長多為單***波長或少數獨立的波長，*典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源。現在大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波長工作（通常有幾百個波長，接近連續）。和單波長的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優點：可以提升多層探測能力，可以測試物質對不同波長光波的折射率等成像橢圓偏振技術正在引起越來越多的興趣。研究人員發現利用成像橢偏技術可實現超小塊薄膜分析、原位橢偏測量、各種液體環境下的橢偏分析并且可以實現和多種技術聯用，如布魯斯特角顯微鏡、表面等離子共振、原子力顯微鏡、石英晶體微天平、LB槽、反射光譜儀、太赫茲光譜儀以及拉曼光譜儀等等。這些新特點拓展了橢偏儀的應用領域。這橢偏技術帶來了新的研究熱點的同時也給該技術帶來了挑戰，例如在非穩定液體表面的薄膜的測量和顯微成像等。是***種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為***種極具吸引力的測量儀器。早期的橢偏研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學研究以及儀器的光學

研究。計算機的發展和應用使橢偏數據的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領域得到應用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀現在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。*初，橢偏儀的工作波長多為單***波長或少數獨立的波長，*典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源。現在大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波長工作（通常有幾百個波長，接近連續）。和單波長的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優點：可以提升多層探測能力，可以測試物質對不同波長光波的折射率等成像橢圓偏振技術正在引起越來越多的興趣。研究人員發現利用成像橢偏技術可實現超小塊薄膜分析、原位橢偏測量、各種液體環境下的橢偏分析并且可以實現和多種技術聯用，如布魯斯特角顯微鏡、表面等離子共振、原子力顯微鏡、石英晶體微天平、LB槽、反射光譜儀、太赫茲光譜儀以及拉曼光譜儀等等。這些新特點拓展了橢偏儀的應用領域。這橢偏技術帶來了新的研究熱點的同時也給該技術帶來了挑戰，例如在非穩定液體表面的薄膜的測量和顯微成像等。