SE1000 全光譜橢偏儀
(TABLE TOP SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER)
SEMILAB 光譜型橢偏儀是多功能薄膜測試系統,適合各種薄膜材料的研究。
產品描述
SE-1000型橢偏儀采用手動變角裝置來設定測試的入射角,樣品臺也采用手動方式,在測試的準確性和靈活性與SE-2000保持***致的情況下,為客戶提供了***款極具競爭力的橢偏測試設備。另***方面,SE-1000型全光譜橢偏儀采用了*新設計的光學部件以及*新版本的測試分析軟件(SAM/SEA),極大地提高了設備的運行穩定性和數據處理能力。
與SE-2000平臺***樣,SE-1000全光譜橢偏儀同時也是***個多功能測試平臺,采用模塊化的設計,可集成FTIR紅外光譜測試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測試模組、Mueller Matrix各項異性材料測試模組、Raman結晶率測試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導電流測試模組、反射干涉測試模組等多種功能,用戶可根據測試需求合理選擇搭配功能。
產品特點
業界標準測試機構定標設備,參與發布中華人民共和***橢圓偏振測試技術標準
針對研發及實驗室測試設計,能降低測試成本
模塊化設計,可綜合監控樣品光學和電學特性
定期免費升***SOPRA材料數據庫
開放光學模型擬合分析過程,方便用戶優化測試菜單
主要應用
光伏行業:薄膜電池透明導電膜、非晶硅微晶硅薄膜電池、CIGS薄膜電池、CdTe薄膜電池、有機電池、染劑敏感太陽能電池
半導體行業:High-K、Low-K、金屬、光刻工藝、半導體鍍膜工藝、外延工藝
平板顯示行業:TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色濾光片
光電行業:光波導、減反膜、III-V族器件、MEMS、溶膠凝膠
主要技術指標
手動變角范圍:45°-75°(*小步進5°)
光譜范圍:245-990nm
樣品尺寸: 200mm
厚度測量范圍:0.01nm-50um(取決于樣品類型)