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產 地:更新時間:2021-01-18 16:45
品 牌:型 號:檢測機
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產品簡介:全自動橢偏檢測機臺作為***種小型橢偏集成機臺,通過整體高度模塊化,電、氣路集成技術,實現不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機臺廣泛應用于科學研究中各種各向同性,異性薄膜材料的膜厚、光學常數以及***維、二維納米光柵的結構表征;工業(yè)領域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜(配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜)全片離線化快速掃描測量。
產品型號
全自動橢偏檢測機臺
主要特點
1、支持實驗室研究整體橢偏集成控制測量技術
2、支持產線大基片離線自定義多點掃描測量并輸出報告
3、支持多橢偏方案,多組合集成
4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化
技術參數
自動化程度
可變/固定角
應用定位
高階高精度型
高精度型
單次測量時間
0.5-5s
分析光譜
380-1000nm(支持擴展至193-2500nm)
Mapping行程
支持100x100mm行程擴展
支持樣件尺寸
支持200mm樣件
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