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基本功能

1，針對微小區域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數

2，實現薄膜均勻性檢測

產品特點

l  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫；

l  簡便、易行的可視化測試界面，可根據用戶需求設置不同的參數；

l  實現微小區域薄膜分析研究；

l  快捷、準確、穩定的參數測試；

l  支持多功能配件集成以及定制；

l  支持不同水平的用戶控制模式；

l  支持多功能模擬計算等等。

系統配置

型號：MSP100RTM

探測器：2048像素的CCD陣列

光源：高功率的深紫外－可見光光源

光傳送方式：光纖      

自動的臺架平臺：特殊處理的鋁合金操作平臺，能夠在5”×3”的距離上移動，并且有著1μm的分辨率，程序有效控制

物鏡：4×，10×，15×(DUV)，50×

通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連

測量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數

計算機硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，19”LCD顯示器

電源：110–240V AC/50-60Hz，3A

尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設置)

重量：120磅總重

保修：***年的整機及零備件保修

規格

波長范圍：250nm到1000 nm

波長分辨率: 1nm

光斑尺寸：100µm (4x), 40µm (10x), 30µm (15x), 8µm (50x)

基片尺寸：*多可至20mm厚

測量厚度范圍: 20Å 到25 µm

測量時間：*快2毫秒

精確度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）

重復性誤差*：小于2 Ǻ

可選配件項

l  波長可擴展到遠深紫外光或者近紅外光范圍

l  可根據客戶的特殊需求來定制

l  在動態實驗研究時，可根據需要對平臺進行加熱或致冷

l  可選擇的平臺尺寸*多可測量300mm大小尺寸的樣品

l  更高的波長范圍的分辨率可低至0.1nm

l  各種濾光片可供各種特殊的需求

l  可添加應用于熒光測量的附件

l  可添加用于拉曼應用的附件

l  可添加用于偏光應用的附件

應用領域

主要應用于透光薄膜分析類領域：

l  玻璃鍍膜領域（LowE、太陽能…）

l  半導體制造（PR，Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...）

l  醫學，生物薄膜及材料領域等

l  油墨，礦物學，顏料，調色劑等

l  醫藥，中間設備

l  光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導體化合物

l  在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

l  非晶體，納米材料和結晶硅