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***般情況下，Y軸的導(dǎo)向面會(huì)在石平臺(tái)右側(cè)再設(shè)置1個(gè)導(dǎo)向面（副導(dǎo)軌）。復(fù)式架橋結(jié)構(gòu)通過(guò)將石平臺(tái)

的兩側(cè)都作為導(dǎo)向面，可防止副導(dǎo)軌連接處（螺絲、粘著等）的老化，從而長(zhǎng)期保證穩(wěn)定的精度。

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，也提高剛性。同時(shí)，由于導(dǎo)向面易于加工，因此，可實(shí)現(xiàn)高精度。

抑制Z（上下）方向驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)、新開(kāi)發(fā)的A.V.D（Anti Vibration Drive）機(jī)構(gòu)

Z軸驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)是由驅(qū)動(dòng)電機(jī)自身旋轉(zhuǎn)不均導(dǎo)致的，單純的摩擦驅(qū)動(dòng)會(huì)將電機(jī)的振動(dòng)直接傳遞到Z軸。

SVA-A通過(guò)采用借助鋼帶驅(qū)動(dòng)Z軸的機(jī)構(gòu)，減輕了振動(dòng)。

同時(shí)，在Z軸的重量平衡結(jié)構(gòu)中采用了氣缸平衡結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了輕量化，并通過(guò)新設(shè)計(jì)的雙重滑輪方式實(shí)現(xiàn)了緊

湊化。

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