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SuperATW 超薄窗口，10mm2 活區；
在MnKα 處的分辨率: 優于133eV；
自動液氮水平監視器以及報警系統；
分析元素范圍：Be4-U92
不使用能譜儀時無需加液氮，即真正的熱循環探測器；
專利的探測器自動優化裝置，除污染技術確保輕元素性能長期優良；
高性能，低噪聲，專利的 FET 場效應管 x-sight 電荷復位技術；
牛津儀器公司90%的探測器實測分辨率為125-130eV
牛津儀器公司探測器優異的超輕元素分辨率表現

中文界面導航器：

操作簡單易行，只需幾步即可完成分析； 

高度智能化，操作者無需經驗即可操作，并得到高質量的分析結果；
而且只需通常的1/3 工作時間 ( 從啟動到***終報告)。
收譜過程實時自動識別并標注元素峰位，可任選元素的K，L，M線系標定,采用標準樣品譜庫進行譜峰擬合，元素標識為唯***解。

可在電子圖象和能譜譜圖上使用中文或英文標注特征 (相或顆粒) 的名稱和編號，使實驗結果清晰明了。
多譜比較： 可將多個區或點的譜，沿Z軸排列，進行比較 　
定量分析采用XPP修正方法, 結果比傳統的ZAF或PRZ方法修正誤差小2/3

元素面分布SmartMap的特點是：全息數據采集，即***次掃描，從B4-U92全部數據采集，多次重復調用。如果在實驗結束后發現漏掉某些元素或特征，無需重新開啟SEM和EDS，只需打開電腦，即可得到全部所需數據 ( 如任何點的定量，線/面掃描，特征分析等 )。
INCA Energy 預先設置四十多種專業的實驗報告格式任選，也可自行簡單地以模塊化形式編輯或創建實驗報告格式，單鍵即可將實驗報告轉變成 Microsoft Word形式。