日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀
價 格：詢價
產(chǎn) 地：更新時間：2021-04-30 11:47
品 牌：其他型 號：ET150
狀 態(tài)：正常點擊量：2651
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日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀特點：
二次元表面解析，可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測定微細表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質材料
主要應用：
前制程機臺（如曝光機、濺鍍機、蝕刻機）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應力測試及軟質光阻材料等薄膜臺階測量。
產(chǎn)品參數(shù)
日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀技術參數(shù)：
型號 | ET150 |
樣品尺寸 | φ160x48mm |
樣品臺 | 尺寸 | φ160 |
傾斜度 | ±2°（X,Y手動） |
承重 | 2Kg |
檢出器 | 觸針力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） |
驅動 | 直動式（差動變壓器） |
觸針 | R2μm 頂角60° |
X軸 | 測長 | 100mm |
直線度 | 0.02μm/100mm |
速度 | 0.005-20mm/s |
重復性 | ±5μm（定位） |
Y軸 | 測長 | 25mm/手動 |
Z軸 | 測長 | 50mm |
放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 |
水平 | 1-10000 |
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 |
移動方法 | 手動 |
輔助功能 | 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 |
應用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 |
重復性 | 1σ1nm |
電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA |
外觀尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺） |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
