產品簡介
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，CINDBEST針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
CGO探針臺能夠勝任的測試有：
CINDBEST CGO系列極高/低溫真空環境探針臺，開/閉循環制冷，標配控溫范圍：4.2K-480K，另可以根據客戶需求訂制。
應用領域
l 探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。
l 使用電源：220±10%，50~60Hz
參數規格
規格 |
載物Chuck 溫度范圍： | 4.2K-500K(液氦） 78k-500K（液氮） |
控溫精度 | 0.1K |
溫度穩定性 | 4 K + - 0.2 K |
77 K + - 0.1 K |
373 K + - 0.08 K |
473 K + - 0.1 K |
823 K + - 0.2 K(可選) |
973 K + - 1.0K(可選) |
常溫到8K冷卻時間: | 1小時40分鐘 |
8K到常溫升溫時間: | 1小時30分鐘 |
從常溫開始的升溫時間 | 150 ℃ 250℃ 400 ℃ |
(4 chuck，分：秒) | 2:00 5:00 10:00 |
系統極限真空優于 | 1.2*10^-5 Torr |
電源 | 直流 |
材質 | 不銹鋼 |
功率(4chuck) | 500W |
定位針臂 | 4個，可升***到6個 |
探針X-Y-Z三方向移動 | 行程：50mm，定位精度：5微米。可升***更高移動精度 |
載物chuck 尺寸 | 可以做到4英寸 |
雙屏蔽同軸測試夾具 | 漏電精度100fA，可升***射頻夾具 |
Chuck 平整度 | 5um |
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需求 |
電力 | 220 VAC, 60Hz |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
850mm長 x 660mm寬 x 700mm高 （帶顯微鏡） |
重 100 Kg（帶顯微鏡） |
可選附件 |
激光切割 |
探針卡夾具 |
加熱臺 |
防震桌 |
顯微鏡氣動升降裝置 |
顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測 |
光強/波長測試接口部件 |
射頻測試探頭和線纜 |
有源探頭 |
低電流/電容測試 |
高壓測試 |
CCD視頻系統 |
液晶漏電分析套裝 |
屏蔽箱 |
鍍金Chuck |
配件
1、體式顯微鏡 （可選配高倍率晶相顯微鏡）
產品參數和特點
1． 鑒別力高，視場范圍大，景深長。
2． 工作距離長至115mm。
3． 左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
4． 能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
5． 本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6． 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.
產品優點：
產品造型比較新穎
機械特性優越，操作舒適度高。
光學系統鑒別力達300線對以上，符合標準
超長的工作距離位于***內同行之***
獨有的3A設計
創見性人機學設計，產品細節考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產量和降低產品成本
應用領域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等領域。
2、JVC模擬CCD
Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid ａnd Pressure Relief Valve Detail
特點
l 1/3寸CCD,44萬像素
l 535電視線的水平分辨率
l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開啟）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 內置10bit 數字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡
特性
l 可選擇的影像來源信號
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、
影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。
● 可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯。
3、探針夾具
● 管狀式
測量微弱電流用，同時可接高壓，采用進口triax線纜，前端管裝屏蔽結構，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
● 彈簧式
使用便利，可用于較短時間的大電流（超過1安培）穩定性好，采用進口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭
4、美***GGB探針
型號 | 針尖直徑 | 針桿直徑 | | 針長 | | 材質 | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內部線路點針
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T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | | 51mm | | 硬鎢材質 | | 5 |
| 0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | | 51mm | 硬鎢材質 | | 5 |
| 0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電極點針
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ST-20-0.5 | | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬鎢材質 | | 10 |
ST-20-1.0 | | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬鎢材質 | | 10 |
ST-20-2.0 | | 5 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬鎢/鈹銅材質 | | 10 |
ST-20-5.0 | | 10 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬鎢/鈹銅材質 | | 10 |
ST-20-10 | | 20 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬鎢/鈹銅材質 | | 10 |
5、防震桌
特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德***FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。
應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。
技術參數：
臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼
平臺表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
具體尺寸可根據客戶需求定制
6、探針臂：cindbestCB-80系列
特點
l 真空波紋管結構
l X-Y-Z 方向的移動行程分別為50mm
l 線性移動
l 精度5微米
l Triaxial (Female)高真空電信接口法蘭
可升***到更高的移動精度
7、空氣壓縮機
規格：
l 電壓：AC220V
l 功率：550W
l 流量：40L/min
l 轉速：1380r/min
l 儲氣罐：8L
l 凈重：14.5kg
功能
l 為防震平臺提供壓縮空氣
特點
● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。
8、高低溫控制系統
l 兩路PID溫度控制
l 50W樣品臺直流加熱
l 50W防輻射屏直流加熱
l 溫控范圍：77K-500K(液氮)，4K-500K(液氦)
l PID溫度控制器分辨率:0.1℃
l 傳感器溫度誤差：任何***區段 0.5%
l 包含三只硅二極管溫度傳感器：樣品臺，輻射屏，探針臂
9、愛德華分子泵組
l 抽氣速率(N2)：42l/s (采用NW40波紋管)
l 極限壓力 5*10^-8 mbar
l 壓縮比(N2):>1*10^11
10、40L液氮杜瓦罐
l 自增壓
l 全不銹鋼制造，容器強度高
l 可以調節壓力和針閥精密流量控制
l 使用安全可靠、排液方便快速、靜態液氮日蒸發率低
l 獨特的罐體支架，罐體穩定性好
l 高強度大腳輪，移動更方便
l 雙安全閥結構，確保產品使用安全
探針臺的使用方法
1、 打開真空腔蓋，將樣品固定到樣品臺中心位置，然后蓋上真空腔蓋。
2、 檢查真空腔體上所有真空閥門并確保都是處于關閉良好狀態，啟動真空泵。
3、 待真空度達到要求后，打開溫度控制器，觀察溫度顯示是否正常，如果正常進行下***步。
4、 打開液氮罐輸液閥門，控制流量，讓液氮緩慢流入樣品臺制冷腔，待溫度降至基準溫度后，調節溫度控制器，設置目標溫度，待穩定后進行下***步。
5、 將顯微鏡移到觀察窗上方，調到倍率，調節焦距找到待測樣品；逐步增大放大倍率，知道能清楚的觀察待測樣品的待測電極。
6、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
7、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試
注意事項
當您使用本儀器時，可能會碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調垂直顯微鏡 |
樣品臺不水平 | 調水平樣品臺 |
樣品不平 | |
顯微鏡像質變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔 |
孔徑光欄關的太大或者太小 | 調節孔徑光欄 |
沒有調好焦 | 調節調焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質 | 移開蓋玻片等介質 |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調節樣品臺水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調節雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調節不正確 | 調節目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調節光源亮度或者孔徑光欄孔 |
真空度變差 | 真空閥沒有關閉良好 | 擰緊各真空閥門 |
密封圈損壞 | 更換密封圈 |
真空腔蓋沒有放置到正確位置 | 檢查并校正位置 |
真空波紋管漏氣 | 聯系廠***處理 |
真空泵抽氣管法蘭安裝不穩 | 拆下重新安裝，擰緊法蘭卡箍 |
維護和保養
.1 避免碰撞
l 在安裝，操作探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。
6.2 儀器的運輸
l 儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
l 儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
6.3 儀器的存放
l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。
l 探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。
l 探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。
l 停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.
l 操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。
滬公網安備31011502016460號
