Brooks GF100 / GF120 / GF125質量流量控制器
價 格:詢價
產 地:上海更新時間:2024-10-30 17:09
品 牌:其他型 號:
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產品介紹
Brooks GF100 / GF120 / GF125質量流量控制器設計用于半導體,MOCVD和其他氣體流量控制
需要高純度全金屬流路的應用。 Brooks GF100系列質量流量控制器和
儀表具有出色的性能,可靠性和靈活性。
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選擇GF100系列功能集可直接替換和升 大多數品牌的金屬密封質量流量
控制器,包括前Celerity,UNIT,Tylan和Mykrolis品牌。 具有廣泛的選項和功能
GF100系列可為用戶提供簡化和標準化的途徑,從而大大減少了備件,庫存,
和支持費用。
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GF125是 二代,多變量,壓力瞬變不敏感質量流量控制器。 這個產品建立
憑借布魯克斯在壓力瞬變不敏感(PTI)質量流量控制器技術中的領導地位,將過程 小化
壓力和溫度波動引起的氣體流量變化。 GF125使客戶能夠簡化和減小尺寸
消除了對使用點壓力調節器,壓力傳感器和相關設備的需求,從而降低了燃氣面板的成本
硬件。
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GF100系列的應用包括:
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- 半導體蝕刻工具 li>
- 薄膜化學氣相沉積系統(CVD,MOCVD,PECVD,ALD) li>
- 物理氣相沉積(PVD)系統 li>
- 外延工藝系統 li>
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美***布魯克儀器公司,成立于1946年,專注于創新。他們擁有150多個有效專利,包括在基本流體測量和控制技術方面的多重進步。布魯克儀器為流量測量和控制應用提供準確 可靠的產品。BrooksInstrument是《財富》 200強公司ITW(伊利諾伊州工具廠)的子公司。ITW是專業工業設備,消耗品和相關服務業務的 多元化制造商之 ,美***布魯克斯公司已經 繁榮了100年,因為ITW的每 項業務都具有獨立的企業***精神和創新自由。